近日从上海市质监局获悉，上海市计测院机械所承担的科技计划项目《微振幅低频振动测量装置的研制》顺利通过国家质检总局验收。

   该项目研制的微振幅低频发生装置利用基于逆压电效应的微动平台对电压信号的快速响应，通过不同信号驱动输出不同形态的微小振动，实现装置的频率、振幅、波形、相位的可视化、数字调节输出，装置可产生(1-100)赫兹，(0.05-0.5)微米的振动。项目研制的微振幅低频测量装置基于激光聚焦式测头和PI纳米定位平台，通过独立地基、气浮隔震平台、隔震弹簧进行隔震处理，采集激光聚焦式测头信号进行线性标定，实现了(1-100)赫兹，(0.05-0.5)微米的振动信号测量。项目性能指标已达到国内先进水平，具有较好的推广前景。在项目的研究过程中，使用微振幅低频振动发生装置对上海某电子科技有限公司的加速度传感器进行测量，满足了客户在频率50Hz处速度0.01mm/s的单点单频测试需求。使用微振幅低频振动测量装置测量某纳米位移技术有限公司的P-753移动平台的振动动态性能，为该公司的精密压电产品的动态性能测试提供了国内第三方的测试平台，装置和方法均得到了对方的认可。

   该项目的完成填补了微幅低频振动领域校准装置和方法的空白，实现了MEMS器件、激光、超声电机定子等设备的静态和动态参数的校准和检测，有利于高新技术企业对微纳米测量、定位、驱动、控制元件和技术的引进、吸收、创新，从而促进超精密加工、光学仪器工业、半导体及MEMS行业和超声电机的持续发展、技术创新、产业升级。